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坩埚使用说明书
Release time:
2018-11-01
“皇博(KINGBO）”牌碳/碳复合材料坩埚，系本公司采用自有专利技术生产的专利产品(专利号：ZL200810031364.0，ZL200720063208.3，ZL200720064249.4，ZL200920065579.4，ZL201120160420.8，ZL201120182573.2，ZL201120182571.3，ZL201120182570.9，ZL201120281366.2）
“皇博(KINGBO）”牌碳/碳复合材料坩埚，系本公司采用自有专利技术生产的专利产品(专利号：ZL200810031364.0，ZL201120160420.8，ZL201120182573.2，ZL201120182571.3，ZL201120182570.9，ZL201120281366.2）并获科技部国家重点新产品称号。该产品具有安全、经济和可设计等特点，能最大限度提高装料量。整圆设计的坩埚拉晶时液面平稳，整棒率高，是高纯等静压石墨坩埚的理想升级换代产品。
一、制造标准：
Q/NARM 001-2017 碳/碳复合材料制品
二、技术指标：
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密度(g/cm3） |
≥1.3 |
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抗弯强度(MPa） |
≥150 |
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导热系数(W/m.K） |
∥ |
60 |
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⊥ |
35 |
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热膨胀系数(×10-6/K) |
≤0.9 |
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灰分(ppm) |
≤200 |
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三、最高使用温度：
空气中，产品最高使用温度370℃；真空状态下，产品最高使用温度2300℃；保护气氛中，产品最高使用温度2500℃。
四、注意事项：
1、产品使用前，需装炉空载煅烧。参考煅烧工艺为：
①煅烧时，坩埚埚底位于炉内高温区，采取分段升温方式，低温时不充氩气，
②煅烧温度＞1600℃(或煅烧功率大于化料功率5kW左右），
③煅烧时间为(4～8）h，
④煅烧次数为(1～3）次，数次烘烤时，需将前次煅烧时沾污在炉内及被煅烧物上的杂物清理干净才进行下次煅烧。
2、装料前，需将埚托、碳/碳坩埚等制品的内外表面清理干净，安放平稳，并使碳/碳坩埚的埚体与其活动底的接缝处高度一致,平滑过渡,防止因安装不当至石英坩埚开裂漏硅。
3、放石英坩埚时，视其质量使石英坩埚外径小于碳/碳坩埚内径(3～8）mm，以利于加热时石英坩埚产生的气体逸出，减轻其对碳/碳坩埚和石英坩埚的危害。
4、碳/碳复合材料坩埚在使用过程中若出现闷炉情况，应在停炉的前20分钟采取相应措施，减慢硅液的冷却速度，尽可能使埚内硅料按从下往上的顺序冷却，以减小硅料冷却时膨胀产生的应力对坩埚的损害。
